爪形转子干式机械真空泵的整机型式分为立式和卧式两种。卧式结构以英国爱德华公司开发的一级罗茨转子加上三级爪形转子的 dp80 型机械真空泵为代表。罗茨转子为高真空吸气级,爪形转子为压缩排气级,这样安排可以在低进口压力下得到大抽气速率。其极限压力可达 1pa 以下。
这种结构的泵特点是整机重心低,各级转子与隔板之间的间隙易于调整。为了在低压下获得较大抽速,泵的罗茨吸气级要做得比爪型排气级大 50 %。为了避免泵在粗抽期间产生组间“过压”,在罗茨及中间爪型级之间设有较大的传输空间作为压力缓冲空间。另外还可以安装级间过压安全阀以保证工作可靠。为了有助于抽除水蒸汽,在泵的排气级设置了气镇阀。泵的传动型式与罗茨真空泵相同。
通过以上分析可知,爪形转子干式机械真空泵同时具有罗茨真空泵和旋片真空泵的优点。
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